2022-10-27
作者：
来源：
大众日报
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□记者 赵国陆 报道
近日，山东产业技术研究院建设的MEMS平台投入使用，这是济南首个硅基微纳制造公共技术服务平台，配备了近百台先进设备，可生产压力、射频、陀螺仪、加速度计、量子传感等芯片产品。
近日，山东产业技术研究院建设的MEMS平台投入使用，这是济南首个硅基微纳制造公共技术服务平台，配备了近百台先进设备，可生产压力、射频、陀螺仪、加速度计、量子传感等芯片产品。