德州职院构建出一条完整的“教学型”芯片制造短流程线

学生在校内就能亲手做芯片

　　□记者 张海峰 通讯员 李金甫 报道
　　本报德州讯 1月30日上午，在德州职业技术学院（以下简称德州职院）集成电路制造工艺实践中心，一片硅片经过薄膜制备、光刻图形化、刻蚀、清洗去胶、封装键合、功能测试，成功制造出多颗可用于传感器的集成电路芯片。流片成功标志着在我国北方地区职业院校中，首个真正实现“从硅片到芯片”全流程制造的实践教学平台已初步建成。未来，集成电路专业的学生可以亲手将一枚光秃秃的硅片，制造成一颗具备特定功能、可测试可应用的集成电路芯片。
　　德州职院2021年设立集成电路专业，2025年成立集成电路产业学院，目前该学院已有在校学生1600多人。集成电路产业学院院长崔健博士介绍，集成电路产业是信息技术的心脏，是国家科技自立自强的战略基石，然而，高端技能人才，尤其是精通完整制造流程的“现场工程师”，缺口巨大。许多学生毕业后进入企业，面对动辄数十亿元投资的产线和复杂精密的工艺，需要很长的重新适应期。传统的职业教育，受限于设备、场地和成本，难以提供这种覆盖全链条的、真实的制造体验。建设这个中心，就是要打破这一瓶颈。目标就是在学校里，复现一个真实的、可运行的微型芯片制造环境。
　　据介绍，这个中心构建出一条完整的“教学型”芯片制造短流程线。它涵盖了芯片制造最核心的六大模块，整个流程从“硅片”入到“芯片”出，全部在中心完成。崔健介绍，目前，这套设备工艺能力可以达到3微米特征尺寸，这对于教学实训、技能培养和初期的产品开发验证而言，是一个极其宝贵和先进的平台。此前，具备如此完整、连续、可实际制造芯片的工艺链的职业院校实训基地，多集中在长三角、珠三角等产业高度集聚区。在北方地区，德州职院是第一家真正打通“校园芯片制造之路”的职业学院。
　　目前，德州职院集成电路产业学院的30多名教师，正抓紧时间掌握芯片制造流程工艺，下个学期便将这些设备用于教学实践。对学生而言，获得的将是不可替代的“制造全景体验”。企业可以将部分初级工艺培训前置到学院，学生毕业即能上手，大大缩短企业培训成本。本地中小微科技企业、创新团队，也可利用这个平台进行小批量流片、工艺试验和原型验证。这无疑将助力德州“中国集成电路关键材料基地”的生态建设，让材料研发与芯片制造实现更紧密的互动。
　　德州职院副院长梁强表示，对学院自身而言，这是“双高计划”建设的核心引擎。它让集成电路技术专业群有了足以匹配其发展雄心的“心脏”。围绕这条真产线，课程改革、教材开发、师资锻炼、“岗课赛证”融通等都有了最坚实的依托。