鲁信创投高质招引助推第三代半导体产业补链强链

让离子注入机实现“山东造”

　　□ 本报记者 王新蕾

　　近日，在位于济南高新区山东产业技术研究院的济南市艾恩半导体科技有限公司（下称“艾恩半导体”），一台离子注入机正在刚启用的厂房内进行整机组装集成。
　　作为一家专注于离子注入机研发制造的民营科创企业，艾恩半导体于去年年底在其天使投资人——鲁信集团直管企业鲁信创投的“牵线搭桥”下，将公司总部迁入山东、落地济南高新区。其此番通线投产，标志着国产化率尚不足8%的离子注入机实现了“山东造”，助推第三代半导体产业补链强链。
投资孵化离子注入机
　　“在芯片制造过程中，离子注入是仅次于光刻工艺的重要环节，其注入效果决定了芯片内部结构器件最基本、最核心的电学性能，是产业链上的重要卡点、堵点。可以说，没有离子注入机，就没有当下的第三代半导体产业。”艾恩半导体总经理钟新华对记者表示，公司自主研发制造的第一代碳化硅离子注入机已经推向市场，正由芯片制造厂商进行验证。
　　在鲁信创投党委副书记、总经理葛效宏看来，离子注入机国产替代已箭在弦上。“公司在艾恩半导体成立之初便进行投资孵化，并积极通过招商引资助其落户山东，将有效补强山东第三代半导体产业链，充分发挥承上启下作用，促进产业链上下游、大中小企业紧密配套、融通发展，打造空间集聚、功能关联的第三代半导体产业集群，助力国产离子注入机供应链自主可控尽快成为现实。”葛效宏说。
离子注入机研发制造难度
仅次于光刻机
　　“不含杂质的硅单晶的导电性能很差，只有在硅中加入适量杂质，将B、P、As、Al、N等特定元素以离子形式加速到预定能量后注入，使硅单晶的结构和电学性能发生改变，才能发挥出半导体的功能。这个‘掺杂’过程，如今已被广泛应用于芯片制造领域。”据钟新华介绍，离子注入是目前主流的“掺杂”工艺，可精准调控剂量、射程、注入角度等三大关键参数，通过材料的电子阻碍和核阻碍等能量损耗机制，实现杂质在靶材内的驻留。
　　半导体是信息产业的基石。《国家集成电路产业发展推进纲要》中，明确要求重点发展离子注入机、光刻机、刻蚀机等三种装备。《山东省第三代半导体产业发展“十四五”规划》也提出，要引入高温离子注入系统等关键工艺设备。
　　一边是刻不容缓的国产替代，一边却是高企的技术壁垒——庞杂的零部件设备集成、高难度的离子获取技术、极度精确的剂量控制要求、高品质的传输光路构造、高能强磁的设备运作环境……在芯片制造四大核心装备中，离子注入机研发制造难度仅次于光刻机。
　　“离子注入机覆盖高压电子、机械、计算机控制、等离子体物理等多个高端学科，需要将接近2万个零部件集成起来，并通过一系列精密控制，确保各项指标参数的高稳定性、精确性。如SiC高温离子注入机的温度控制则需要在500℃的条件下实现±1℃的精准度。”钟新华坦言，国内企业在市场占比和技术指标上与国际领先水平尚存较大差距。
　　“不能在上游设备环节被限制。”钟新华介绍，2023年2月，他带领具备近20年研发、产业化经验的技术团队，注册成立广州市艾恩半导体科技有限公司，积极投身离子注入机的国产化浪潮中。
天使投资打破融资堵点
　　当时，资金是横亘在公司加快自主研发道路上的最大挑战。“我们是一家刚刚起步的科技型创业公司，有高风险、高不确定性等特征以及缺乏抵押物及营业收入的现状，难以获得贷款支持。”钟新华回忆。
　　研发资金从哪里来？让钟新华感到幸运的是，鲁信创投凭借对初创期科创型项目的专业辨别能力与赛道把握能力，在严格审计及评估的基础上，率先成为艾恩半导体的天使投资人。
　　2023年3月和9月，由鲁信创投联合济南财投基金集团等组建的济南鲁信新动能天使创业投资合伙企业（有限合伙），两度出资参与艾恩半导体天使轮融资，以“真金白银”的有力加持，为其送去关键“活水”，自此开启了双方携手奋进的序幕。
　　“作为山东起步最早、国内具有重要影响力的专业创投机构，公司近年来先后涉足芯片设计、衬底生产、晶圆制造、模块封装等第三代半导体全产业链，而离子注入机更是当前产业发展必不可少、亟待补齐的关键短板之一。”葛效宏对记者表示，投早、投小、投长期、投硬科技，一直都是鲁信创投的坚守与初心，也是作为国有创投机构，有力支撑我国电子元器件制造工艺装备自立自强，助推国产离子注入机供应链自主可控的使命与担当。